管式炉的使用步骤

实验室管式炉是一种用于处理较小样品或在惰性气体环境中加热的设备，具有精准温控灵活操作高效节能等。

CVD沉积设备常用管式炉和密闭腔式炉两大类，具体选型需匹配沉积工艺类型工件尺寸与量产需求一 管式炉是CVD沉积最传统的炉型，分为卧式和立式两种，主要适配常压CVD低压CVD工艺1 结构以耐高温石英管为反应腔，加热元件均匀环绕在管外壁，通过温控系统维持管内恒温区域，工件装载于石英舟后送入。

管式炉均系采用国际先进技术研制开发的高性能高节能的新型电炉，有单管双管卧式可开启式立式。